潔凈室(Clean Room)，亦稱無塵車間、無塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內污染控制，沒有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產。

　　在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度。

　　潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性，是檢驗潔凈室質量的核心標準，該標準根據區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素，分為若干等級，常用的有標準和區(qū)域行業(yè)標準，一些凈化工程公司，在通行標準之外，還設有自身執(zhí)行的高于化通行標準的凈化指標，凈化能力和環(huán)境適應力遠。

　　潔凈室是指將一定空間范圍內空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除，并將室內溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。

　　潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造，此空間我們稱之為潔凈室。

　　按照慣例，無塵凈化主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵，而是控制在一個微量的單位上。

　　當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微，但是對于光學構造而言，哪怕是一點點的灰塵都會產生大的負面影響，所以在光學構造產品的生產上，無塵是必然的要求。

　　每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下，就達到了無塵標準的*。芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于*，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方英寸1000個以內，這也就是業(yè)內俗稱的1K。