無(wú)塵室標(biāo)準(zhǔn)—無(wú)塵室（無(wú)塵車(chē)間）等級(jí)劃分

無(wú)塵室（潔凈室）根據(jù)潔凈程度不同分很多等級(jí)。

    目前各半導(dǎo)體加工和面板組裝廠的無(wú)塵室等級(jí)大都為1000級(jí)和100級(jí)的居多，數(shù)字越小，潔凈等級(jí)越高。 

無(wú)塵室（潔凈室）1000級(jí)的概念是：每立方英尺內(nèi),大于等于0.5的灰塵顆粒不能過(guò)1000顆 ；

無(wú)塵室（潔凈室）100級(jí)的概念是:每立方英尺內(nèi),大于等于0.3的灰塵顆粒不能過(guò)100顆 ；

注意了：每個(gè)等級(jí)所管控的顆粒大小也不一樣；

依據(jù)美國(guó)聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無(wú)塵室（潔凈室）分為六級(jí)。分別是1級(jí)、10級(jí)、100級(jí)、1000級(jí)、10000級(jí)、100000級(jí)；

如果無(wú)塵室（潔凈室）的等級(jí)只用塵粒數(shù)目來(lái)敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無(wú)塵室等級(jí)應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級(jí)數(shù)來(lái)表示。例如：10級(jí)在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密不大于75顆/立方英尺），1級(jí)在0.1um(塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無(wú)塵室之潔凈度必須優(yōu)于1000級(jí)。

一、聯(lián)邦規(guī)格無(wú)塵室等級(jí)

現(xiàn)今一般多奉行與美國(guó)所制定的聯(lián)邦規(guī)格，BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規(guī)格）。 其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個(gè)0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱(chēng)為[等級(jí)○○]。例如：空氣中含有10個(gè)0.5  以下時(shí)，表示為“等級(jí)10"。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個(gè)微粒子。 在JIS標(biāo)準(zhǔn)下，無(wú)塵室清潔度，共分為8個(gè)等級(jí)  一般清潔度是指空氣的潔凈等級(jí)，分為等級(jí)1、2???8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個(gè)以下時(shí)為1；百個(gè)以下是100=102是等級(jí)2；千個(gè)以下時(shí)是1000=103等級(jí)3，依次類(lèi)推。 

二、無(wú)塵車(chē)間-無(wú)塵室（潔凈室）標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)

 美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E （1992 年）PC/ft3 

潔凈度：粒徑(um)